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薄膜製程

③ 薄膜之原子或分子層層堆積在基板上成膜過. 程中不會包雜其它氣體則膜質密度高，硬度. 大，折射率穩定。 在真空中. ▫ 蒸發源不會因高溫而與氣體起作用 ...

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