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pvd 製程物理氣相沉積(PVD) - Txbnx

... 介紹三，PVD 與NCVM 常見的不良項目四，注意事項; A.何謂PVD？ PVD(Physical Vapor Deposition)物理氣相沉積法，顧名思義此種薄膜形成的方式乃利用外力(能量製程 ...

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