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半導體離子植入機配件 - 三達光學材料有限公司

這些離子必須先被加速至具有足夠能量與速度，以穿透（植入）薄膜，到達預定的植入深度。 離子植入製程可對植入區內的摻質濃度加以精密控制。

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