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微電子製程實驗 - 國立東華大學

學習PLD 沉積之薄膜的優勢及與其他薄膜製程的比較。 二.實驗原理 ... 何謂『蒸鍍』(Evaporation)視在高真空的狀況下，將所要蒸鍍的材料加熱達.

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