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何謂薄膜製程
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蝕刻
在晶片製程中,圖案化和蝕刻的流程會重複進行多次。 蝕刻製程是指導體蝕刻、介電質蝕刻或多晶矽蝕刻,用以指明從晶圓上移除的薄膜類型。例如 ...
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