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熱蒸鍍機與高溫爐管之製程與設備技術初步實務 - 管理學院

在半導體製程的物理氣相沉積技術中，蒸鍍是發展較為早期的一種 ... 這些薄膜可以是沉積（deposition）上去的，也可以是成長（growth）. 出來的。 ... 何謂擴散？

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