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第二十三章半導體製造概論

的良率，依良率的高低來判斷晶圓製造的過程是否有誤。良品率高時，表示晶圓製造過程一切. 正常，若良品率過低，則表示在晶圓製造的過程中，有某些步驟出現問題，必須 ...

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