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真空元件與封合技術 - 台灣儀器科技研究中心

對於低真空和高真空系統，且系統溫度不超過. 攝氏二百度者，一般採用高分子材料O 型環(O- ring)，或是鐵弗龍墊圈做為密封材料。超高真空系.

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