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3. 真空的基础| 技术信息| SHINCRON Co.,Ltd.

普遍的PVD工序是使用高真空、超高真空领域；CVD工序使用低真空、中真空领域。 3.6 真空与薄膜制作. 薄膜制作要在真空中进行的理由是，先以PVD为例，主要是因为以下 ...

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