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低溫電漿
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冷電漿體- 維基百科,自由的百科全書
冷電漿體(英語:cold plasma)是電離率小於10%的電漿體。其電子溫度遠大於離子溫度,屬於非熱平衡電漿體。用低溫電漿體可以對材料表面進行改性處理。
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