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低溫電漿
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電漿滅菌 - 政府研究資訊系統GRB
低溫電漿 為重要基礎科學課題,在產業應用如微電子、奈米材料、面顯示器與太陽光電 ... 本計畫將先以低溫氣體電漿中之電漿表面波傳播與波導結構為研究分析對象,研製一 ...
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