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伺服馬達精度
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編碼器、傳動機構、電腦控制系統、旋轉式壓電馬達PiezoMotor
... 產生奈米精度的位移定位控制。 滑台位置回授系統,採用MicroE或RENISHAW光學尺系統,貼附於滑台中比一般伺服馬達系統編碼器安裝於馬達尾端,有更精確的位置回饋。
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