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photolithography - 光刻 - 國家教育研究院雙語詞彙

為一種平版印刷技術，用以轉移電路設計圖和晶片上的電子元件到晶圓上。晶圓上先塗有對光敏感的膜（抗光蝕），被透過光罩上的光照射到的部份會變硬，以利後續處理。

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