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磨報6 ─綠色製造與智慧未來 - 第 55 頁 - Google 圖書結果
傳統矽基晶圓研磨/抛光工藝矽晶圓研磨是利用鑽石砂輪在晶圓上高速磨削,達到快速減薄晶圓厚度,並大幅降低晶圓切片及雙面研磨製成所累加之表面瑕疵,其加工如圖 2 所示。
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