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介電質放電
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(12)發明說明書公告本
【0003】 以電漿對表面進行親疏水特性的改質是相當有效的方. 式,最常見的是以電容耦合型電 ... 【0009】基於上述,本發明使用共平面介電被覆放電(coplanar.
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