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大氣電漿電漿表面處處理工藝藝 - 淞耀

漿製程特性. 低溫電漿. 介電層放電. 極（平板型或圓. 加入一層以上之. 並因介電質的存. 電源只能使用交. 作電壓較高. V）。 量集中、處理. ，但受限於處. 質、光阻去除.

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