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鉻緩衝層厚度在鈦酸鍶鋇薄膜之介電性質及機械應力之研究

目前被研究於DRAM 的材料可分為[21-25]：. 1. 高介電常數材料，如Ta2O5，TiO2，Y2O3，ZrO2。 2. 鐵電材料，如鈦酸鋯酸鉛(PZT)，鈦酸鍶鋇(BST) 系列。

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