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發明專利說明書(本說明書格式、順序及粗體字,請勿任意更動 ...

對多孔性介電材料實施電漿處理或. 電子束(e-beam)處理可改善其硬度(hardness)及機械性. 質,或者較佳為實施紫外光(UV)處理。 請參照第2a 圖,其係繪示對低介電常數介電材. 第 ...

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