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銅金屬與低介電常數材料與製程 - 國立彰化師範大學機電工程學系

其中. Aerogel 與Nanoglass 為形成介電常數低於. 2.0 以下的材料，然而其疏鬆的結構造成強. 烈的吸水性及較高的漏電流，因此在應用上. 可以二氧化矽做三明治夾層結構，改善 ...

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