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低介電材料(Low-k)

為什麼IC產業須要研究低介電材料(low-k). 超大型積體電路(ULSI)在高電晶體容量與運算速度的需求快速增加下，使得元件尺寸縮小，內連線尺寸也必須相對縮小，目前先進 ...

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