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Low-k將到達最大極限值 - CTIMES

一般常用的金屬線之間的介電材料是二氧化矽（SiO2），它的介電常數約在3.9k至4.5k之間。但是當製程尺寸不斷地縮小，SiO2已經快到達它能支援的最大物理 ...

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