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交聯反應對乾式顯影表面選擇性強化之影響

AZ1350J商用正型阻劑經Deep UV曝光交聯, 浸泡C H COOK╱n-Hexane有機溶液, 鉀離子易於非曝光區產生物理性附著。 酚醛樹脂(Novolac) 藉Deep UV 或交聯劑(Bisazide) ...

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