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光電科技研究所 - 國立臺灣師範大學

國家奈米中心(NDL)於VLSI 2013 發表製作6T FinFET SRAM 的. 論文，文中提到:使用奈米噴印成像技術(Nano-Injection Lithography,. NIL)於矽基板上形成Fin Pattern，相較 ...

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