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CN106967385A - 亚卤酸盐碳化硅蚀刻剂- Google Patents

在移除氧化铝后，该中和废液只包含无毒氯化钠(食盐)及硫酸钠。该些良性钠盐可被轻易地以无毒性废料方式丢弃，此与一些前例使用有毒的锰、铬及铈盐的 ...

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