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半導體廠要把餘氫變黃金

... 廠帆宣積極響應氫能發展，初期目標鎖定晶圓製程當中來自於EUV機台所產生的餘氫，透過純化後進一步循環再利用，目前正與亞氫動力及工研院合作。

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