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奈米技術計量標準計畫（2/6）

圖1-27 加入SDS 之二氧化矽奈米粒子SEM 影像. 利用SEM 量測奈米粒子 ... 是分別利用含氫氟酸(HF)之BOE 蝕刻液去除二氧化矽犧牲層與丙酮去除光阻。完成.

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