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TW201504397A - 選擇性蝕刻氮化鈦之組成物及方法- Google Patents

或者，或在氟化物來源之外，蝕刻劑可包含強鹼諸如氫氧化四甲基銨(TMAH)、氫氧化四 ... 十二烷基硫酸鈉(SDS)、ATA-SDS、3-胺基-5-巰基-1,2,4-三唑、3,5-二胺基-1,2,4-三 ...

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