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tmah 蝕刻

TMAH與IC製程相容，可以二氧化矽作為蝕刻阻擋層(etching mask)，無毒，但蝕刻速率較低鹼液：KOH, NaOH, LiOH, CsOH, NH 4OH,並可添加異丙醇(IPA)等KOH低毒性、較佳的 ...

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