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楊怡寬博士新型次微米級氣泡產生裝 - of THUIR

刻方式；我們使用氫氧化鉀作為蝕刻液的主成分，以表面粗度儀 ... 表4- 2 不同溫度時間下矽晶圓斷面EDS 分析氧元素含量................ 88.

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