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二氧化矽英文
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二氧化矽英文. 摘要阐述了二氧化矽干法蚀刻的原理和主要的蚀刻参数。. SiO 2 ,在已知物質中,熱的膨脹係數是最小的,SiO 2 不溶於Silicon Dioxide.
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