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氮化矽、氮氧化矽、二氧化矽 - Sillitronics

氮化矽是一種介電常數較高（約為7 左右）、硬度強、緻密的介電材料。 氮化矽的研磨速率比二氧化矽的研磨速率低，因此在淺溝槽絕緣形成的製程中， ...

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