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Al/SiO2/Si MIS 光偵測器製作及其光響應特性研究

evaporation) 蒸鍍Al導電層與SiO2介電層於矽基板，實驗中使用電流-電壓(I-V)特性量測 ... 關鍵字：鋁、二氧化矽、MIS光偵測元件、光響應度 ...

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