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高品質Ta 2 O 5 介電層的製作摘要 - 工程學院

這些薄膜在1伏特時的漏電流密度約為10 -2 A/cm 2 ），比相同EOT的二氧化矽薄膜約小二個數量級。 研究與討論. 五氧化二鉭的等效二氧化矽厚度如左圖所示， 其厚度是由電容- ...

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