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多孔性二氧化矽薄膜表面電漿改質在奈米積體電路超低介電材料 ...

當積體電路的密度增加，元件尺寸縮小，導線的電阻值與金屬間介電層的電容值 ... 本研究中所使用的低介電常數材料為奈米孔洞二氧化矽薄膜。然而，由於高孔隙率.

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