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Aeris®-Si - 半導體

Aeris-Si 是下層前級管道清潔的整合解決方案，可用來管理二氧化矽負載並延長泵浦的使用壽命。該解決方案能達到高流量正矽酸四乙酯(TEOS) 製程，實現最高沉積速率和產能 ...

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