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扫描电镜透射模式（STEM）的成像原理及应用

扫描电子显微镜已成为表征物质微观结构不可或缺的仪器。在扫描电镜中，电. 子束与试样的物质发生相互作用，可产生二次电子、特征X 射线、背散射电子.

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