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SEM（扫描电子显微镜）

SEM的高能聚焦电子束扫描样品表面时，被激发的区域会产生二次电子。 ... 系统融合了FIB和SEM，在进行高精度切割的同时又可以进行SEM成像，是一种非常强大的分析工具。

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