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二次电子与背散射电子成像区别 - 仪器社区

散射电子检测器一般是被嫌弃的，因为它成像分辨率低（图1）。造成分辨率不同的原因是二者检测的信号源不同。二次电子（SE）的能量小于50ev，二次电子信号 ...

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