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带扫描探针显微镜成像（SPM） 的原位SEM 纳米力学测试仪

尽管在SEM 中可以通过二次电子成像查看高分辨率的表面特征，但获取定量形貌数据仍具有难度。SPM 可使用与进行压痕测试的相同探针对样品表面进行成像，从而解决上述问题 ...

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