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二次電子成像原理
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SEM - 電子顯微鏡介紹
在一般掃瞄式電子顯微鏡偵測系統上,主要為偵測二次電子及背向散射電子成像,這些訊. 號經過放大處理後即可成像觀察,如圖一(C)、(D)所示為二次電子顯微影像。
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