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二次電子成像原理
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https://www.tiri.narl.org.tw/Publication/InstTdy_Full/12619?PubId=232
原子解析度穿透式電子顯微鏡 - 台灣儀器科技研究中心
當離子束打到樣品表面時,如同SEM 一樣,會產生二次電子、二次離子,再藉由偵測器接收這些激發出來的二次電子而成像。唯一與SEM 不同的是:因為電子的質量很輕,幾乎不 ...
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