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二次離子質譜 - 維基百科

二次離子質譜 （英語：Secondary Ion Mass Spectroscopy, SIMS）是用來分析固體表面或者是薄膜的化學成分的技術，其用一束聚焦的離子束濺射待測品表面，並通過檢測轟擊 ...

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