... 二次離子質譜儀,此種二次離子質譜儀的入射離子是不加以聚焦的,入射點大約 3mm ... 原理圖 3.16 典型二次離子質譜儀(SIMS)構造圖 圖 3.17 CAMECA 公司 IMS-3F 型二次離子 ...
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