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国家标准《硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法》 编制说明（ ...

SIMS 测氮的原理如下：. 在高真空（真空度优于5×10-7 Pa）条件下，铯离子 ... 二次离子质谱仪存在记忆效应，假如测试过含氮量高的样品，在二次离子质谱 ...

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