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二次離子質譜儀系統的研究

在上述幾種方法之中,SIMS 之原理是利. 用被加速的一次離子撞擊材料表面,而以質譜儀系統分. 析從樣品中被打出的二次離子。從二次離子的數量、質. 量、能量和其它訊息,可以 ...

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