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团体标准

该部分内容对应《标准》的第4 章内容，详细阐述了二次离子质谱仪检测半导体氮化镓. 材料中的痕量杂质硅、铝、锌、铁浓度及分布的方法原理。经过讨论和征求意见后决定予以.

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