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二次離子質譜儀 :: 博碩士論文下載網

二次離子質譜 （SecondaryIonMassSpectrometry，SIMS）是通過高能量的一次離子束轟擊樣品表面，使樣品表面的原子或原子團吸收能量而從表面發生濺射產生二次粒子, .

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