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二次离子质谱

它的原理除了采用离子枪轰击激发以外，其余与质谱仪完全相同。SIMS一般采用四极质谱 ... 二次离子质谱仪包括（1）产生初级离子束的初级离子枪，（2）初级离子柱，将光束 ...

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