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二次离子质谱分析技术及应用研究- 豆丁网

... 离子束轰击样品,样品表面溅射出的二次离子按照荷质比的不同被分离开。IMS26f质量分辩率很高(MR=5000)30SiH被很好分辨出来。二次离子质谱仪具有深度 ...

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