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二次離子質譜儀原理
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SIMS(secondary ion mass spectroscopy)二次离子质谱转载
1.仪器介绍二次离子质谱(SIMS)是一种用于通过用聚焦的一次离子束溅射样品表面并收集和分析喷射的二次离子来分析固体表面和薄膜的组成的技术。
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